Waferloader kombiniert mit Edge Gripper
Waferloader
Unser Waferloader automatisiert die optische Kontrolle von Wafern.
Aufbau und Funktion:
- Table Top Aufbau
- Der Edge Gripper fährt nicht in den Carrier, dadurch ist eine beliebige Entnahme aus dem Carrier möglich ohne die Gefahr unten liegenden Wafer zu beschädigen
Weitere Module:
1. Hubwerke
- Flatcontrol
- vollautomatisches Flaten
- Slot Scan
2. Drehachsen
- elektrisch angetrieben
- frei programmierbar
- Drehbereich: 0 – 270 grad
3. Linearachsen
- elektrisch angetrieben
- frei programmierbar