Handhabung im Reinraum
Seit über 10 Jahren entwickeln und liefern wir Einrichtungen zur Handhabung von Substraten im Reinraum.
Handhabbare Substrate:
- Größe: 4″ bis 12″
- Dicke: 300 µm bis 4000 µm
- Material: Silicium, Glas, Master
Sie können Ihre Anlage je nach Aufgabenstellung konfigurieren
Verschiedene Module stehen Ihnen zur Auswahl:
- lineare Handlingmodule
- Drehachsen
- Parallele Kantengreifer- Edge Gripper
- Hubwerke
- Schwenkantriebe für den Carrier
- Flipper mit Kantengreifer
- stationäre Kontrolle der Flatausrichtung des Carriers
- vollautomatische Flateinheit
- Slotscan, Crosslayer
Handhabung Reinraum:
- Backside-Inspection
- Wafer-Sorter
- Einsatz von Robotern
- Sondergreifer, Antrieb elektrisch oder über Vakuum
- Automatisierung und Verkettung von Einzelgeräten, wie z.B Mikroskopen, Spektrometern,
- Profilometern etc.
- PC Programmierung
- SPS Programmierung