Edge Gripper - unser patentierter Kantengreifer
Vorteile
- Wafer können in beliebiger Reihenfolge aus dem Carrier entnommen oder eingeschoben werden
- Die Gefahr, den unten liegenden Wafer zu beschädigen oder mit Partikeln zu kontaminieren, minimiert sich
- Der Wafer wird nicht, wie mit gängigen Kantengreifern üblich, verformt. Somit werden Beschädigungen vermieden
- Bei elektrisch angetriebenen Greifern sind Weg, Kraft und Geschwindigkeit frei programmierbar
- Die Mechanik unseres Kantengreifers kann auch per Vakuum angetrieben werden
- Bei beiden Antriebsvarianten ist es möglich nur eine Backe zu bewegen
- Wafer werden parallel von oben und unten, nur im Randbereich (max.5mm) gegriffen
Der Kantengreifer kann mit dem von uns entwickelten Flipper kombiniert werden. Dies ermöglicht eine unbegrenzte Drehbewegung.