Um die Backside-Inspection durchzuführen wird der Kantengreifer mit unserem Flipper kombiniert.

Der Greifer und das Flippmodul sind einzeln elektrisch angetrieben.

Die Positioniersteuerung beider Antriebe ist auf der Einheit integriert.

Da die elektrischen Leitungen nicht mitgedreht werden ist die Bewegungsfreiheit nicht begrenzt. Der Flipper kombiniert mit unserem patentierten Kantengreifer ist in alle Roboter- und Handlingmodule integrierbar.

Wafergrößen von 4″ – 12″ sind handhabbar